接触式紫外光刻系统:UV-KUB2
UV-LED光源系统
曝光和掩膜系统 UV-KUB 2是国际市场上第一个可用的UV-LED掩膜系统。UV-KUB 2是一种紧凑的接触式光刻系统,配备有基于LED的光学头,准直且均匀。
其对准功能分辨率可达2µm以下。该系统与任何最流行的光刻胶兼容,例如AZ系列,Shipley系列,SU-8和K-CL系列。
曝光和掩膜系统 UV-KUB 2是国际市场上第一个可用的UV-LED掩膜系统。UV-KUB 2是一种紧凑的接触式光刻系统,配备有基于LED的光学头,准直且均匀。
其对准功能分辨率可达2µm以下。该系统与任何最流行的光刻胶兼容,例如AZ系列,Shipley系列,SU-8和K-CL系列。